Extreem ultraviolet licht laat zich moeilijk temmen
De productie van geïntegreerde schakelingen met kleine spoorbreedte kan niet meer met gewoon of ultraviolet licht. De golflengte daarvan is te groot om details van 0,07 micron, ofwel 70 nanometer, op een substraat te etsen. Voor een zo kleine spoorbreedte moet men overstappen op extreem ultraviolet (EUV) licht met een golflengte van 0,013 micron (13 nanometer).
Shutterstock
Shutterstock