ASML slaat terug naar Nikon

ASML verwierp die laatste klacht al in februari. Nu zegt het bedrijf uit Veldhoven dat ook de overige vijf patenten ongeldig zijn. ASML gaat tevens in de tegenaanval: Nikon zou bij het vastleggen van twee patenten bij het US Patent Office vitale informatie hebben achtergehouden. Op grond van ITC-regels heeft ASML zijn tegeneis overgeheveld naar een federale rechtbank in Phoenix (Arizona). Beide kemphanen vormen samen met Canon de topdrie van fabrikanten van ‘wafersteppers’. Alle drie claimen ze het leiderschap op de markt voor deze apparaten, die chips maken met een lijnbreedte van 0,1 micron (100 nanometer) op siliciumplakken met een doorsnee van 300 millimeter. Het juridische gevecht tussen ASM Lithography en Nikon Precision Equipment speelt zich af tegen de achtergrond van een inzinking in de halfgeleiderindustrie. Alle aanbieders kampen sinds vorig jaar met een sterk teruggelopen vraag naar hun producten. De strijd om schaarse orders heeft zich daardoor verder verhard. ASML, Nikon als Canon dingen alle drie naar een grote opdracht van Intel voor de volgende generatie productiemachines voor lijnbreedtes van 0,09 micron. Medio februari zou Nikon in eerste instantie aan het langste eind hebben getrokken met een initiële order van Intel. Voor het Nederlandse bedrijf kwamen de eerste beschuldigingen van Nikon ‘als donderslag bij heldere hemel’, stelt ASML-zegsman Bob McGuire. “Als het ene bedrijf denkt dat een ander bedrijf zijn patenten schendt, is het gebruikelijk om eerst een beleefde brief te sturen en opheldering te vragen. Je voert telefoongesprekken, belegt vergaderingen en komt tot een akkoord. Dat wij vanuit het niets zijn aangevallen is heel abnormaal.” McGuire voorziet dat de behandeling van Nikons klacht bij de ITC en de tegenzaak van ASML in Arizona achttien maanden in beslag kunnen nemen. De rechtszaak in Californië zou twee tot drie jaar of langer kunnen duren, denkt hij.