Nederland pompt ruim 100 miljoen in nanotechnologie
In Delft is in het kader van het project NanoNed een nieuw lithografie laboratorium van TNO TPD geopend. Hier wordt in samenwerking met de TU Delft onderzoek gedaan naar manieren om de details op chips nog verder te kunnen verkleinen. Het pand van TNO, dat vanwege de robuuste uitstraling van de architectuur ook wel ‘de doos’ wordt genoemd, krijgt twee cleanrooms en acht laboratoria.
In die cleanrooms worden stofdeeltjes met een doorsnee van 150 nanometer eerst gedetecteerd en vervolgens de deur gewezen. "Ter vergelijking: een menselijke haar heeft een diameter van 50.000 nanometer. Onze cleanrooms zijn dus echt wel ‘schoon’ te noemen. De faciliteiten staan nu ten dienste van de halfgeleidertechniek, de ruimtevaart en wetenschappelijk onderzoek en wie weet wat er nog meer voor toepassingsgebieden op het zeer kleine komen", zegt Dick Schmidt, directeur TNO TPD.