ASML verkleint details op chips
Met ASML’s systeem, dat de Micrascan VII is gedoopt, kunnen details kleiner dan 65 nanometer op wafers geëtst worden. De nu gangbare 193nanometertechnologie blijft steken bij 80 nanometer. ASML moest een aantal technische hordes nemen om de nauwkeurige machine te kunnen bouwen. De lastigste stap was wellicht de productie van de lenzen. Die moeten gemaakt worden uit calciumfluoride, het enige materiaal dat transparant genoeg is om licht van 157 nanometer door te laten. Het maken van de benodigde calciumfluoridekristallen vergt een maandenlang productieproces dat met veel uitval gepaard gaat. De problemen die dat oplevert voor de kwaliteit en beschikbaarheid, heeft ASML in nauwe samenwerking met de leveranciers ervan weten op te lossen.