Subsidie aan ASML mag van Brussel
De Europese Commissie heeft de Nederlandse overheid toestemming gegeven om twee projecten van ASML mede te financieren. Het gaat om plannen op het gebied van de lithografie waarvoor een bedrag van 109 miljoen euro beschikbaar is.
Shutterstock
Shutterstock
De projecten, respectievelijk Extatic en Fluor geheten, beogen de productie van chips met zeer fijne details te verbeteren. Bij Extatic gaat het om onderzoek naar de gedragingen van extreem ultra-violet licht bij het belichten van chips via een masker. Fluor richt zich op een techniek die met een nog kortere golflengte werkt dat extreem UV. Dit laatste heeft een golflengte van 193 nanometer, bij Fluor wordt gewerkt met straling die een golflengte van 157 nanometer heeft. De overheid draagt in dit geval iets minder dan een kwart van de totale kosten. Die worden becijferd op bijna 465 miljoen euro (ruim 1 miljard gulden). (rak)