Software maakt optische microscoop geschikt voor nanoschaal

Met de techniek uit Portland hoeft dat niet meer. Het softwarepakket integreert een aantal optische beelden met elkaar en berekent uit de interferenties hoe de kleine structuren er uit zien. De techniek is al bewezen door circuits met een lengte van 3 nanometer accuraat af te beelden, met gebruik van een relatief goedkope microscoop.Het NIST, het National Institute for Standards and Technology, heeft het onderzoek gesteund. De techniek wordt aangeduid met de term Through-focus Scanning Optical Microscopy, kortweg TSOM. Het computeralgoritme wordt gevoed met een aantal optische opnamen, die bewust iets onscherp zijn gehouden. De onscherpe beelden worden met elkaar gecombineerd, waardoor een model ontstaat van de structuren die normaal niet zichtbaar zijn. Er wordt gewerkt in 3D, zodat van de structuren niet aleen de lengte en breedte kan worden vastgesteld, maar ook hun hoogte.