EU start lithografieproject Magic
De EU is een nieuw programma gestart voor de ontwikkeling van lithografie zonder maskers. Bij het programma, Maskless Lithography for IC Manufacturing (Magic) genaamd, heeft onder meer het Nederlandse Mapper Lithography zich aangesloten. Mapper ontwikkelt onder meer tools voor lithografie zonder maskers.
Shutterstock
Shutterstock
Magic is een onderdeel van de 7e framework programma van de EU. Doel van dit project is maskless tools te ontwikkelen voor de 32 nm node en het mogelijk maken van de ondersteunende infrastructuur hiervoor mogelijk.
Bij lithografie zonder maskers worden de patronen direct op een wafer gebrand.
De technologie is veelbelovend, maar het kost fabrikanten nog veel moeite om daadwerkelijk producten hiervoor te ontwikkelen.
Mapper en het Oostenrijkse IMS, dat eveneens tools ontwikkelt voor lithografie zonder maskers, zullen deze week hun plannen presenteren op een conferentie.
Andere deelnemers aan het Magic-project zijn onder meer STMicroelectronics, Synopsys en KLA-Tencor. (Tanja de Vrede)