ASML stopt met productie Micrascan V
ASML gaat zijn 193nm-producten samenvoegen tot één platform, het zogeheten Twinscan-systeem. De Twinscan AT:1100, zoals de machine voluit heet, is een lithografisch systeem voor de productie van 300mm-siliciumwafels. De Micrascan V verdwijnt voor het eind van het jaar uit het assortiment bij de chipmachinefabrikant uit Veldhoven.
Shutterstock
Shutterstock
De Micrascan V, eveneens een 193nm-machine, is een product van de Silicon Valley Group (SVG), dat in mei van dit jaar werd overgenomen door ASML. De fabriek in het Amerikaanse Wilton zal zich in het vervolg bezighouden met de productie van de Twinscan en voor bepaalde onderzoek- en ontwikkelingsactiviteiten voor dit systeem. ASML denkt begin 2002 met de levering van de Twinscan te kunnen beginnen. De Twinscan is in staat om twee siliciumwafels tegelijk te bewerken, wat tot een snellere productie leidt. In september leverde ASML een eerste exemplaar af aan de Taiwanese chipfabrikant TSMC. (esc)