ASML zet branchevreemde activiteit uit bij Belgisch instituut

Het onderzoek was gericht op het maken van een machine die een elektronenbundel gebruikt als lichtbron voor het lithografische proces waarmee chips met een ultradunne spoorbreedte kunnen worden gemaakt. ASML koos uiteindelijk niet voor het inzetten van deze oplossing. Uit het onderzoek kwam wel naar voren dat de elektronenbundel mogelijk ook worden gebruikt voor het maken van molybdeen-99, een isotoop die radiologen in het ziekenhuis gebruiken voor de diagnose van ziektes als kanker.

Het nadeel van de huidige methode van het vervaardigen van molybdeen-99 is dat dit alleen in verouderde kernreactoren kan plaatsvinden. Die vergen veel onderhoud en zijn niet altijd beschikbaar. Artsen kunnen daardoor niet altijd over de gewenste hoeveelheden van het diagnose-hulpmiddel beschikken. De nieuwe fabricagemethode zou daar verandering in kunnen brengen.

Dan maar naar België

Hoewel in de medische wereld enthousiast werd gereageerd op de ontdekking, was er geen financiering beschikbaar om het concept verder uit te werken en productierijp te maken. ASML heeft nu een samenwerkingsverband gesloten met Institut National des Radioéléments (IRE) om de techniek productierijp te maken. Onderdeel daarvan is dat IRE het intellectueel eigendom langdurig mag gebruiken en technologische ondersteuning krijgt van ASML. Frits van Hout, chief strategy officer bij ASML benadrukt dat zijn bedrijf niet zelf isotopen wil gaan maken. "Wij zijn een semiconductor company. Medische isotopen passen niet in onze strategie. Toch wilden we niet dat onze uitvinding op de plank bleef liggen."

De Belgische overheid steekt 52 miljoen euro in het project op het terrein van IRE. Het Belgische instituut investeert zelf nog eens 100 miljoen euro in de bouw van twee productielijnen op basis van de nieuwe technologie. Naar verwachting kan de fabriek in 2023 beginnen met een proefproductie.