Nederlandse uitvinders winnen European Inventor Award

Het Nederlands uitvindersduo kreeg de meeste publieksstemmen in de online verkiezing. Het Europees Octrooibureau (EOB) maakte de winnaars van de awards vandaag bekend tijdens een ceremonie in Parijs waar zo’n 600 genodigden bijeen waren uit de politiek, wetenschapswereld, het bedrijfsleven en specialisten in intellectueel eigendom.

Met hun methode om geometrische patronen op siliciumwafers te etsen voor de volgende generatie computerchips brengen de Nederlandse Erik Loopstra en de Nederlands-Russische Vadim Banine een nieuw digitaal tijdperk dichterbij. “De Publieksprijs voor Erik Loopstra en Vadim Banine is een eerbetoon voor hun bijdrage aan het in kaart brengen van de toekomst van computerchipproductie”, zei EOB-voorzitter Benoît Battistelli.

Loopstra en Banine ontwikkelden samen met hun onderzoeks- en engineeringsteams bij het Nederlandse ASML en de Duitse fabrikant van optica ZEISS, het extreem-ultraviolette lithografie (EUVL) productiesysteem voor kleinere, snellere en krachtiger halfgeleiders. “Kleinere, krachtigere microchips zullen een impuls geven aan ontwikkelingen op allerlei gebied, variërend van consumentenelektronica tot zelfrijdende auto’s en Kunstmatige Intelligentie. We zien hoe een Europese doorbraak op het gebied van chiptechnologie een grote impact kan hebben op de digitale economie”, aldus Battistelli.

EUVL-vinding favoriet bij het publiek

Voor de Publieksprijs kon tussen 24 april en 3 juni online een stem worden uitgebracht op een van de vijftien genomineerde uitvinders of uitvindersteams voor de European Inventor Award 2018. Loopstra en Banine kregen de meeste van de duizenden uitgebrachte online stemmen. Een internationale jury van innovatiedeskundigen koos daarnaast een winnaar - uit meer dan 500 inzendingen in totaal - in elk van de vijf categorieën: Industrie, Onderzoek, Midden- en Kleinbedrijf, Niet-EOB-landen en Lifetime Achievements.

De European Inventor Award wordt jaarlijks uitgereikt door het EOB om uitmuntende uitvinders uit Europa en de rest van de wereld te eren, die een uitzonderlijke bijdrage hebben geleverd aan sociale ontwikkeling, technologische vooruitgang en economische groei.

Grenzen opzoeken van de natuurkunde

Steeds kleinere, krachtiger chips zijn van cruciaal belang voor verdere technologische ontwikkelingen in het digitale tijdperk. De ontwikkeling van het EUVL-productiesysteem, dat de golflengte van de straling vermindert die wordt gebruikt om chipdetails met een factor 14 te etsen, zorgt ervoor dat Loopstra en Banine nu een nieuwe impuls geven aan de wet van Moore. “Met een golflengte die bijna net zo kort is als röntgenfotografie, beelden we functies uit op de chip van slechts 5 nanometer breed, wat nauwelijks 20 siliciumatomen is”, legt Vadim Banine uit. “Met deze technologie hebben we de grenzen van de conventionele fysica zo goed als bereikt.”

Het EUVL-systeem is gebaseerd op een krachtige laser die op minuscule druppels tin schiet. Dat creëert een ultraheet plasma dat extreem ultraviolette straling genereert. Een optisch systeem met spiegels geleidt dit licht vervolgens naar de silicumlaag van de chip. "Optica worden niet meer gemaakt van lenzen, maar bestaan uit het gladste spiegelsysteem ter wereld", zegt Erik Loopstra. Hij legt uit dat als een van de spiegels van het EUVL-systeem vergroot zou worden tot de omvang van Duitsland, of 1000 km breed, de grootste afwijking minder zou zijn dan de breedte van een mensenhaar. Naast geavanceerde optica en krachtige laser, ontwikkelden de uitvinders en hun teams voor het EUVL-systeem een vacuümomgeving die vervuiling - veroorzaakt door materiaal 1000 keer dunner dan menselijk haar - tot bijna nul vermindert.

De twee uitvinders werkten met hun teams twee decennia lang aan de realisering van EUVL, dat nu klaar is om ingezet te worden voor grootschalige microprocessorchipproductie. Ze wijzen ook op de rol die patenten hebben gespeeld bij het veiligstellen van de belangrijke bescherming van intellectueel eigendom.  “Alleen als je je ideeën in octrooien vastlegt, heb je vrijheid van handelen”, zegt Loopstra.

Nederland wint vaker de uitvindersprijs

Het is niet de eerste keer dat Nederlandse uitvinders tot de winnaars behoren. Zo won vorig jaar Jan van den Boogaart van Siemens Health samen met zijn Oostenrijkse collega Oliver Hayden de prijs in de categorie Industry vanwege hun werk aan snelle bloedtesten voor malaria. In 2015 viel NXP-engineer Franz Amtmann samen met Philippe Maugars van Sony in de prijzen voor uitvindingen in Near Field Communication (NFC)-technologie.

Video over EUVL