Europese chipproducenten bundelen krachten

Het project heeft een looptijd van 2 jaar en omvat activiteiten van 35 onderzoekspartners. Een van de onderzoeksonderwerpen is het beter verzamelen van gegevens in het proces zodat het onderhoud aan de machines kan worden geoptimaliseerd. Tot nog toe vindt onderhoud vooral 'reactief' plaats. Door proactief te kunnen inspelen op een naderende onderhoudsbeurt, verwachten de bedrijven een een grote stap voorwaarts te kunnen maken met de efficiencyverbetering.

Daarnaast richten de onderzoekers zich op een betere interpretatie en extrapolatie van de beschikbare gegevens die tijdens het proces worden gegenereerd, waardoor sommige metingen overbodig worden. Met deze vernieuwing kunnen de wafers sneller door het productieproces.

Onder de deelnemers aan het IMPROVE-project bevinden zich onder meer bedrijven als Infineon, AMS, Atmel, Intel en onderzoeksinstituten Fraunhoferen CEA LETI. Het budget bedraagt 37,7 miljoen euro. De financiering wordt gesteund door onder meer het European Nanoelectronics Initiative Advisory Council (ENIAC) en het Duitse ministerie van onderwijs en wetenschappen.